Bruker白光干涉儀是用于對各種精密器件表面進行納米級測量的儀器，可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

　　Bruker白光干涉儀光源發(fā)出的光經(jīng)過擴束準直后經(jīng)分光棱鏡后分成兩束，一束經(jīng)被測表面反射回來，另外一束光經(jīng)參考鏡反射，兩束反射光Z終匯聚并發(fā)生干涉，顯微鏡將被測表面的形貌特征轉(zhuǎn)化為干涉條紋信號，通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌。

　　Bruker白光干涉儀以白光干涉技術為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量的光學檢測儀器。

　　Bruker白光干涉儀于非接觸式快速測量，精密零部件之重點部位的表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸，其測量精度可以達到納米級！目前，在3D測量領域，白光干涉儀是精度很高的測量儀器之一。

　　Bruker白光干涉儀特點：

　　1、非接觸式測量：避免物件受損。

　　2、三維表面測量：表面高度測量范圍為1nm---200μm。

　　3、多重視野鏡片：方便物鏡的快速切換。

　　4、納米級分辨率：垂直分辨率可以達0.1nm。

　　5、高速數(shù)字信號處理器：實現(xiàn)測量僅需幾秒鐘。

　　6、掃描儀：閉環(huán)控制系統(tǒng)。

　　7、工作臺：氣動裝置、抗震、抗壓。

　　8、測量軟件：基于windows操作系統(tǒng)的用戶界面，強大而快速的運算。

　　以上就是Bruker白光干涉儀的原理和特點介紹，供大家參考！